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芯恩(青岛)集成电路取得一种隔离装置及半导体设备专利,保证腔室整体环境稳定

发布日期:2025-03-07 09:33 点击次数:164 你的位置:AG安卓下载官网登录入口 > 新闻动态 >

金融界2025年2月17日消息,国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司取得一项名为“一种隔离装置及半导体设备”的专利,授权公告号CN 222479638 U,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种隔离装置及半导体设备,通过在半导体设备的反应腔内靠近摆阀处设置隔离阀体;该隔离阀体包括相连接的隔离罩和驱动机构;隔离罩和驱动机构均设置在反应腔内,且隔离罩相对于驱动机构靠近摆阀设置;驱动机构,用于调节隔离罩和反应腔的内壁之间的距离,使隔离罩的端面和反应腔的部分内壁相抵触,以将反应腔分隔为第一空间和第二空间,且第二空间,用于摆阀维护。维护前后只需改变第二空间的真空环境,而不会影响第一空间的真空环境,保证了腔室整体环境的稳定,在不中断生产流程、不改变腔室条件的前提下,实现对摆阀的安全、有效维护,不仅提高了生产效率、降低维护成本,还增强整个流体控制系统的稳定性和可靠性。

天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目166次,知识产权方面有商标信息15条,专利信息546条,此外企业还拥有行政许可55个。

来源:金融界

发布于:北京市

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